Место происхождения: | Китай |
Фирменное наименование: | TYHJ |
Сертификация: | ISO Certificate |
Номер модели: | НФ3 |
Количество мин заказа: | 200pcs |
---|---|
Цена: | negotiable |
Упаковывая детали: | 1. цилиндр 44Лтр заполняя с жидкостью 20Кг НФ3. 2. цилиндр 440Л заполняя с жидкостью 200Кг НФ3. |
Время доставки: | через 15-30 рабочих дней после получения депозита |
Условия оплаты: | L/C, T/T, D/A, D/P, западное соединение |
Поставка способности: | 10000KG в месяц |
№ КАС: | 7783-54-2 | EINECS Нет.: | 232-007-1 |
---|---|---|---|
ООН нет.: | УН2451 | Чистоты: | 99,995% |
Класс точки: | 2,2 | Внешний вид: | БЕСЦВЕТНЫЙ |
Высокий свет: | advanced specialty gases,purity plus specialty gases |
Азот Трифторид NF3 Газ, специальные газы для плазменного травления кремниевых пластин Бесцветные
Трифторид азота представляет собой неорганическое соединение формулы NF3. Это азотсодержащее соединение представляет собой бесцветный, без запаха, негорючий газ. Он находит все большее применение в качестве травителя в микроэлектронике. Трифторид азота - чрезвычайно сильный парниковый газ.
Характеристики
Номер CAS: 7783-54-2
Номер EINECS: 232-007-1
№ ООН: UN2451
Чистота: 99,995%
Класс Dot: 2.2
Внешний вид: бесцветный
Стандарт класса: электронный класс
Спецификация | ≥99.995% |
CF4 | ≤40 ppm |
N2 | ≤ 5 ppm |
О2 + Аг | ≤ 5 ppm |
Колорадо | ≤ 5 ppm |
СО2 | / |
N2O | / |
SF6 | ≤2 ppm |
H2O | ≤1 ppm |
HF | ≤1 ppm |
Типичное применение
Травление:
Азот Трифторид используется в плазменном травлении кремниевых пластин.
Упаковка и доставка
Размер посылки | 44Ltr Цилиндр | Цилиндр 440Ltr | Бак ISO |
Заполнение чистого веса / Cyl | 20KGS | 200kgs | / |
QTY загружено в 20'Container | 200 Cyls | 20 Cyls | |
Общий вес нетто | 4 тонны | 4 тонны | |
Вес тары | 50kgs | 240Kgs | |
клапан | CGA / DISS640 |
Контактное лицо: Millet